Научный отчет № 2059

Название

Испытание диффузионных тензорезистивных датчиков давления. (Промежуточный).

Авторы

Мазманянц А.П.

Аннотация

Описана конструкция миниатюрного датчика давления с диффузионными тензорезисторами на мембране из кремния. Проведены результаты статической и динамической градиуировок, а также проведен анализ частотных свойств диффузионных тензорезистивных чувствительных элементов.

Год публикации

1978 г.

Объём

36 с.

Научный руководитель

Лосев С.А.

Ключевые слова

ударная волна, чувствительный элемент, датчик, конструкция, градуировка, собственная частота, погрешность.