Научный отчет № 2721

Название

Исследования электрических и структурных свойств ионно-легированных слоев антимонида индия. (Заключительный).

Авторы

Дубровская Е.К., Заваринская В.О., Коршунов А.Б., Краснов А.П., Етаркин А.Н., Старикова Л.Е.

Аннотация

Предложен механизм изменения электрических свойств антимонида индия при воздействии импульсного лазерного облучения. Предложен ряд технологических применений лазерного облучения антимонида индия.

Год публикации

1982 г.

Объём

75 с.

Научный руководитель

Шестериков С.А., Коршунов А.Б.

Ключевые слова

температурная зависимость, коэффициент Холла, электропроводность, энергия активации уровня, имплантированный слой изотермический отжиг, лазерный отжиг, воздействие импульсного лазерного излучения.