Научный отчет № 2721
- Название
- Исследования электрических и структурных свойств ионно-легированных слоев антимонида индия. (Заключительный).
- Авторы
- Дубровская Е.К., Заваринская В.О., Коршунов А.Б., Краснов А.П., Етаркин А.Н., Старикова Л.Е.
- Аннотация
- Предложен механизм изменения электрических свойств антимонида индия при воздействии импульсного лазерного облучения. Предложен ряд технологических применений лазерного облучения антимонида индия.
- Год публикации
- 1982 г.
- Объём
- 75 с.
- Научный руководитель
- Шестериков С.А., Коршунов А.Б.
- Ключевые слова
- температурная зависимость, коэффициент Холла, электропроводность, энергия активации уровня, имплантированный слой изотермический отжиг, лазерный отжиг, воздействие импульсного лазерного излучения.
регистрация
наука
экспериментальная база
инновации