Научный отчет № 2839

Название

Описание конструкции динамометра и результаты его испытания. (Заключительный).

Авторы

Алиевская А.Н., Миронов Ю.В., Слезингер И.И.

Аннотация

Приведены результаты опытно-конструкторских работ по созданию устройства для измерения массы полупроводниковых монокристаллов в процессе их выращивания по методу Чохральского. В устройстве применен разработанный в Институте механики МГУ пьезооптический измерительный преобразователь. Определены погрешности устройства в лабораторных условиях и проведены испытания его на полупромышленной установке.

Год публикации

1983 г.

Объём

44 с.

Научный руководитель

Слезингер И.И.

Ключевые слова

пьезооптический преобразователь, монокристалл, упругий элемент, стабильность, погрешности, конструкция динамометра.