Научный отчет № 2839
- Название
- Описание конструкции динамометра и результаты его испытания. (Заключительный).
- Авторы
- Алиевская А.Н., Миронов Ю.В., Слезингер И.И.
- Аннотация
- Приведены результаты опытно-конструкторских работ по созданию устройства для измерения массы полупроводниковых монокристаллов в процессе их выращивания по методу Чохральского. В устройстве применен разработанный в Институте механики МГУ пьезооптический измерительный преобразователь. Определены погрешности устройства в лабораторных условиях и проведены испытания его на полупромышленной установке.
- Год публикации
- 1983 г.
- Объём
- 44 с.
- Научный руководитель
- Слезингер И.И.
- Ключевые слова
- пьезооптический преобразователь, монокристалл, упругий элемент, стабильность, погрешности, конструкция динамометра.
регистрация
наука
экспериментальная база
инновации