Научный отчет № 2839

Название
Описание конструкции динамометра и результаты его испытания. (Заключительный).
Авторы
Алиевская А.Н., Миронов Ю.В., Слезингер И.И.
Аннотация
Приведены результаты опытно-конструкторских работ по созданию устройства для измерения массы полупроводниковых монокристаллов в процессе их выращивания по методу Чохральского. В устройстве применен разработанный в Институте механики МГУ пьезооптический измерительный преобразователь. Определены погрешности устройства в лабораторных условиях и проведены испытания его на полупромышленной установке.
Год публикации
1983 г.
Объём
44 с.
Научный руководитель
Слезингер И.И.
Ключевые слова
пьезооптический преобразователь, монокристалл, упругий элемент, стабильность, погрешности, конструкция динамометра.
о нас
Об институте
60 лет
Библиотека
Презентация
регистрация