Научный отчет № 3170

Название

Исследование различных режимов технологической обработки пленок импульсными потоками энергии. (Заключительный).

Авторы

Коршунов А.Б.

Аннотация

Изложены результаты исследований изменения электрических и структурных свойств кремния после ионной имплантации фосфором и бором и лазерного отжига. Установлено существенное различие структурных свойств после имплантации кремния ионами фосфора и бора. Установлено, что указанное различие структурных свойств после ионной имплантации оказывает решающее влияние на изменение электрических и структурных свойств рекристаллизованных слоев. Предложен механизм изменения структурных свойств кремния после имплантации ионами бора и электрических и структурных свойств рекристаллизованных слоев после лазерного отжига.

Год публикации

1985 г.

Объём

52 с.

Научный руководитель

Шестериков С.А.

Ключевые слова

дефектная структура, ион, имплантированный слой, рекристаллизованный слой, лазерный отжиг, кремний, фосфор, бор.