Научный отчет № 3906

Название

Исследование влияния магнитного поля на мениск и форму свободной поверхности расплава в условиях, моделирующих процесс роста кристалла из расплава.

Авторы

Успенский В.С., Герман В.О., Татарченко Е.В.

Аннотация

В работе приводятся теоретические и экспериментальные результаты по исследованию влияния постоянного осевого магнитного поля на форму свободной поверхности и мениска в окрестности вращающегося в электропроводном расплаве слитка. Модельные высокотемпературные условия отвечают условиям выращивания полупроводниковых кристаллов кремния, германия и др. из расплава методом Чохральского. Приведены особенности конструкции созданной экспериментальной установки с возможностями генерации высоких значений магнитного поля (до 0,6 Тл) в рабочей камере 130x100x100 в сочетании с высокотемпературным омическим нагревом исследуемого расплава в тигле.

Год публикации

1990 г.

Объём

77 с.

Научный руководитель

Любимов Г.А.

Ключевые слова

расплав, метод Чохральского, магнитное поле, устойчивость роста кристаллов.